Publication:
Tài liệu học tập Kỹ thuật chế tạo vi mạch
Loading...
Abstracts views
0
Views & Download
0
Alternate title
Abstract
Giới thiệu về xử lý silicon wafer. Tạo màng tinh thể. Oxy hóa. Quang khắc. Quá trình ăn mòn. Khuếch tán. Cấy icon. Phủ phim: Cách điện, polysilicon và kim loại hóa. Đóng gói.
Description
ĐTTS ghi : Trường Đại học Kinh tế - Kỹ thuật Công nghiệp. Lưu hành nội bộ
Authors
Đặng, Khánh Toàn
Alternate Authors
Trần, Thị Thu Hường
Lê, Tuấn Đạt
Vũ, Anh Nam
Advisor
Place of publication
Hà Nội
Publisher
Trường Đại học Kinh tế - Kỹ thuật Công nghiệp
Date
2026-03-31
Journal ISSN
Volume Title
Keywords
Kỹ thuật , Chế tạo vi mạch , Silicon wafer , Tạo màng tinh thể , Oxy hóa , Quang khắc , Quá trình ăn mòn , Khuếch tán , Cấy ion , Phủ phim , Đóng gói
Collections
Uniform Resource Identifier
Please use the UNETI DRM to download/borrow digital documents